真空泵與油泵相比真空度低，抽氣量小，但體積細巧，易于設備，保護簡略，移動便利，不發生油煙，不污染環境，尤其在要求較高的實驗室運用較好，也是實驗室常備的設備之一，因此在選購無油真空泵時要先確認要求作業的真空度，假如需求的真度高。

    而選的真空泵就要高于需求的真空度，不然達不到抽真空的要求，就會達不到作業要求，其次是無油真空泵抽氣速率，選型時就要稍大于所需求的抽氣速率，這樣就能的滿足需要，后看抽取的氣體有無腐蝕性，有腐蝕的氣體會腐蝕泵，在高真空范疇運用早的真空泵機組，油分散泵是用低壓、高速定向運動的油蒸汽噴射向被抽氣體中，帶動氣體往下運動，將被抽氣體帶向排氣口，然后到達抽氣口的，油分散泵的抽速規模很大，從每秒幾十到幾十萬升，極限真空為10-4次方~10-8次方。

    在10-2次方~10-4次方Pa的真空規模內具有穩定的抽氣速率，油分散泵是高真空獲取的重要抽氣設備，遍及應用于真空鍍膜、冶金等行業，油分散泵之所以被廣泛運用，是因為它結構簡略，價格低廉，對被抽氣體無選擇性，極限真空度高，沒有機械傳動及摩擦，維修便利，缺陷是容易發生油蒸汽返流，造成真空室油污染；啟動時間長；功率大，比較耗電，分散泵的返油使它在對真空潔凈程度要求較高的真空體系的運用中受限，為了處理這個問題，通常在真空室與真空機組的主泵進口之間的管道中設備冷阱、擋板，可以有效地抽除來自真空室的冷凝蒸氣和來自蒸氣流泵的返流油蒸氣。