低中真空獲得設(shè)備的抽氣范圍約為10的5次方10的-1次方Pa，其主要特點是抽氣速率較低，排氣量大，工作壓力高。低真空獲得設(shè)備主要應用在真空干燥、真空浸漬、真空輸送和真空過濾等裝置中。經(jīng)常使用的真空泵有羅茨泵、水環(huán)泵、油封機械泵、往復式真空泵、大氣噴射泵、水蒸氣噴射泵、分子篩吸附泵等。這些泵中大部分可以單獨使用，但是有些泵不能直接排氣到大氣中，需要配有前級泵，比如羅茨泵和油蒸汽噴射泵。

羅茨真空泵由羅茨鼓風機演變而來，一般在低壓下使用，廣泛應用在石油、刀具、化工、冶金、醫(yī)療、食品等行業(yè)。早在1954年，國外就發(fā)明了羅茨真空泵。我國的羅茨泵也有三十幾年的歷史了。但相對于國外的羅茨泵，我國生產(chǎn)的羅茨泵普遍存在噪音大、可靠性差和故障率高等問題，其綜合性能不好。因為羅茨泵不能直排大氣，在真空領(lǐng)域應用時一般與前級真空泵串聯(lián)成真空機組來使用。比如羅茨泵-旋片式真空泵機組、羅茨泵-水環(huán)式真空泵機組、羅茨泵一滑閥式真空泵機組等。

旋片式真空泵是一種容積式真空泵，它是通過滑動的旋片和定子在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)轉(zhuǎn)動而改變?nèi)萸惑w積來實現(xiàn)抽真空的。真空技術(shù)中，旋片式真空泵是基本的真空獲取設(shè)備之一。旋片泵常作為其他真空泵的前級泵來使用，但旋片泵也可單獨用于對真空度要求不高的低真空環(huán)境。由于旋片泵價格低廉，構(gòu)造簡單，空間占有面積小，因此被廣泛使用在石油、機械、冶金中。